特許

J-GLOBAL ID：200903002733088476

磁気記録媒体の製造方法

発明者： 市川 雅敏 ,  大野 玲
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-240890
公開番号（公開出願番号）：特開2001-067662
出願日： 1999年08月27日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】 保磁力の向上した磁気記録媒体の製造方法を提供する。【解決手段】 非磁性基板上に非磁性下地層、非磁性中間層及び磁性層の各層を順次形成する過程を経て磁気記録媒体を製造するに際し、非磁性中間層の形成を基板に負のバイアス電位を印加してスパッタリングすることにより行う。

請求項（抜粋）：

非磁性基板上に非磁性下地層、非磁性中間層及び磁性層の各層を順次形成する過程を経る磁気記録媒体の製造方法において、非磁性中間層の形成を基板に負のバイアス電位を印加してスパッタリングすることにより行うことを特徴とする方法。

IPC (6件)：

G11B 5/851 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/14 ,  G11B 5/65 ,  G11B 5/738 ,  G11B 5/82

FI (6件)：

G11B 5/851 ,  C23C 14/06 N ,  C23C 14/14 G ,  G11B 5/65 ,  G11B 5/738 ,  G11B 5/82

Fターム (26件)：

4K029AA02 ,  4K029BA06 ,  4K029BA07 ,  4K029BA11 ,  4K029BA24 ,  4K029BB02 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029CA05 ,  4K029DC39 ,  4K029FA03 ,  4K029GA03 ,  5D006BB02 ,  5D006CA01 ,  5D006CA05 ,  5D006CA06 ,  5D006DA03 ,  5D006EA03 ,  5D006FA09 ,  5D112AA03 ,  5D112AA05 ,  5D112AA24 ,  5D112BB05 ,  5D112BD03 ,  5D112FA04 ,  5D112FB26