銅系材料用表面処理剤

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三枝英二 (外10名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-118791
公開番号（公開出願番号）：特開平11-310883
出願日： 1998年04月28日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】有機溶剤を含有しない銅系材料用表面処理剤であって、銅系材料に対して優れた変色防止効果を有し、しかも表面処理後に熱が加わった場合に形成される酸化皮膜が、非常に良好な密着性を有するものとなる処理剤を提供する。【解決手段】ポリオキシアルキレン型ノニオン性界面活性剤及びリン酸エステル型アニオン性界面活性剤から選ばれた少なくとも一種の界面活性剤を含有するpH1〜7の水溶液からなる銅系材料用表面処理剤。

請求項（抜粋）：

ポリオキシアルキレン型ノニオン性界面活性剤及びリン酸エステル型アニオン性界面活性剤から選ばれた少なくとも一種の界面活性剤を含有するpH1〜7の水溶液からなる銅系材料用表面処理剤。

IPC (6件)：

C23C 22/52 , B05D 7/14 , C08K 3/24 , C08K 5/521 , C08L 71/00 , H01L 23/50

FI (6件)：

C23C 22/52 , B05D 7/14 Z , C08K 3/24 , C08K 5/521 , C08L 71/00 , H01L 23/50 A

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