オンチップ回路パッド構造

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：坂口博 , 市位嘉宏 , 上野剛史 , 太佐種一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-363798
公開番号（公開出願番号）：特開2006-191027
出願日： 2005年12月16日
公開日（公表日）： 2006年07月20日
要約：

【課題】基板により引き起こされる損失を改善するための、損失性基板上で用いられるオンチップ回路パッドを提供すること。【解決手段】ミリメートル波アプリケーションにおいて基板により引き起こされる損失を減少させる分路伝送ライン・スタブを含ませることによって寄生容量を調整する、遮蔽された回路パッドが提供される。回路パッドは、シールドが該回路パッドの下方に配置され、分路伝送ライン・スタブが該回路パッドに取り付けられた状態で、基板上に配置される。したがって、ミリメートル波アプリケーションのための、制御されたインピーダンスが得られる。次に、回路パッドとシールドとの間の間隔を最小にすることができる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上の回路パッドと、前記回路パッドの下方のシールドと、前記回路パッドに取り付けられた分路伝送ライン・スタブと、を備えることを特徴とするデバイス。

IPC (3件)：

H01L 21/822 , H01L 27/04 , H01L 23/12

FI (3件)：

H01L27/04 A , H01L27/04 D , H01L23/12 Q

Fターム (14件)：

5F038AZ01 , 5F038BE07 , 5F038BH10 , 5F038BH18 , 5F038CA06 , 5F038CA09 , 5F038CA10 , 5F038CA16 , 5F038CD12 , 5F038CD13 , 5F038DF01 , 5F038EZ01 , 5F038EZ02 , 5F038EZ20

引用特許：

審査官引用 (9件)

高周波半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-099962 出願人：富士通カンタムデバイス株式会社
電界効果トランジスタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-103519 出願人：日本電気株式会社
伝送線路変換器およびその変換特性調整方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-248244 出願人：株式会社村田製作所

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