特許
J-GLOBAL ID：200903002737610363
有機化合物用蒸発源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-089056
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291239
出願日： 1992年04月09日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 蒸発源の蒸発口から蒸発した原料モノマーの蒸気を基板以外への付着を防止する装置。【構成】 原料モノマーの蒸発源の蒸発口の近傍に原料モノマーの蒸発温度よりも低温に保持された筒状または管状のモノマー凝集部を設けた有機化合物用蒸発源。
請求項（抜粋）：
真空室内で基板上に形成する高分子膜の有機化合物の原料モノマーを蒸発させるための蒸発源において、蒸発源の蒸発口の近傍に原料モノマーの蒸発温度よりも低温に保持された筒状または管状のモノマー凝集部を設けたことを特徴とする有機化合物用蒸発源。
IPC (2件)：
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