特許
J-GLOBAL ID：200903002741919646
透光体の検査方法、検査装置、検査プログラムおよび記録媒体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-349235
公開番号（公開出願番号）：特開2002-156337
出願日： 2000年11月16日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
要約：
【要約】【課題】 ガラス管等の光の透過体の透過光を撮像し、それにより微細な欠陥を検出する検査方法と、その撮像画像の画像処理アルゴリズムおよびそれらを用いた装置を提供すること。【解決手段】 照明光にスリット光5Lを用い、このスリット光5Lは、被検査体1の回転軸と平行か、この回転軸に対して水平方向で交差するように設定する。
請求項（抜粋）：
透光体で形成された被検査体を回転可能に保持する工程と、前記被検査体の一側方に対してスリット光を照射する工程と、前記被検査体を透過したスリット光を受光する工程と、受光したスリット光から前記被検査体の欠陥を検出する工程とを有することを特徴とする透光体の検査方法。
Fターム (11件)：
2G051AA90
, 2G051AB06
, 2G051AB07
, 2G051BA20
, 2G051CA04
, 2G051CB02
, 2G051DA08
, 2G051EA16
, 2G051EB02
, 2G051EC01
, 2G051ED09
