特許
J-GLOBAL ID：200903002743064230
リッジ構造を有する光導波路およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-210968
公開番号（公開出願番号）：特開平11-052155
出願日： 1997年08月05日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 均一な光学特性を有する、緻密なニオブ酸リチウム薄膜を、低温で、しかも安定、迅速な化学反応を用いて容易に得る。【解決手段】 少なくとも、有機酸リチウムと、アルコキシニオブとを脱エステル化反応させて、ニオブ酸リチウムの前駆体を形成する工程と、ニオブ酸リチウムの前駆体を下地に積層した後、加熱してニオブ酸リチウム薄膜を形成する工程とを含む。
請求項（抜粋）：
リッジ構造を有する光導波路において、少なくとも前記リッジ構造の側壁に、ゾル-ゲル法を用いて形成した無機薄膜層を設けてあることを特徴とするリッジ構造を有する光導波路。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 6/12 A
, G02B 6/12 M
