ダイシングテープ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：秋元輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-250196
公開番号（公開出願番号）：特開平8-088202
出願日： 1994年09月20日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：

【要約】【目的】ウェーハの切削と同時にブレードをドレッシング出来るようにした、ダイシングテープを提供する。【構成】フレームにウェーハを保持するための粘着テープに砥粒を混入してブレードのドレッシング機能を付与する。

請求項（抜粋）：

フレームにウェーハを保持するための粘着テープに砥粒を混入し、ブレードのドレッシング機能を付与したことを特徴とするダイシングテープ。

IPC (3件)：

H01L 21/301 , B24B 53/00 , B28D 7/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

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