特許

J-GLOBAL ID：200903002749560353

液晶表示装置

発明者： 山崎 舜平
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224992
公開番号（公開出願番号）：特開2000-077675
出願日： 1990年11月20日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】 非感光性の薄膜型絶縁ゲイト型電界効果トランジスタを有する液晶表示装置を提供する。【解決手段】 薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置であって、薄膜トランジスタはチャネル形成領域と、前記チャネル形成領域に接するソース領域及びドレイン領域とを含む半導体膜を有し、半導体膜は酸素、炭素または窒素が添加され、かつ結晶性を有しており、前記ソース領域及び前記ドレイン領域における前記酸素、炭素または窒素の総量は、前記チャネル形成領域に近いほど高くなっていることを特徴とする液晶表示装置。

請求項（抜粋）：

薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置であって、前記薄膜トランジスタはチャネル形成領域と、前記チャネル形成領域に接するソース領域及びドレイン領域とを含む半導体膜を有し、前記半導体膜は酸素、炭素または窒素が添加され、かつ結晶性を有しており、前記ソース領域及び前記ドレイン領域における前記酸素、炭素または窒素の総量は、前記チャネル形成領域に近いほど高くなっていることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (5件)：

H01L 29/786 ,  G02F 1/1365 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/092 ,  H01L 21/336

FI (5件)：

H01L 29/78 618 G ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 27/08 321 B ,  H01L 29/78 613 A ,  H01L 29/78 627 G