特許
J-GLOBAL ID：200903002752180812
マルチワイヤソーによる切断方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-283520
公開番号（公開出願番号）：特開平5-096461
出願日： 1991年10月03日
公開日（公表日）： 1993年04月20日
要約：
【要約】【目的】マルチワイヤソーにおけるワークのセットの簡易化とウエハの取出しを容易にする手段を提供する。【構成】一方向走行式のマルチワイヤソーのワーク押上台10に装着されたベース9の上にL字形断面のダミー部材20を固定する。このL字形ダミー部材20の底板部20-1の上にワーク6をその側面部6-4が側板部20-2に接触するごとく載置する。一方向に走行するワイヤによる切断時には、ワーク6に作用する研削抵抗を前記ダミー部材の側板部20-2で支持しつつ、ダミー部材底板部まで切込み切断する。切断後はダミー部材上に乗っているウエハを取出す。【効果】マルチワイヤソーへのワークのセッティングが簡単である。ウエハの取出しが容易である。マルチワイヤソーの稼働率が高い。ソーマークのない高品質のウエハが得られる。
請求項（抜粋）：
走行するワイヤと被切断物の間に砥粒を含む加工液を供給し、当該ワイヤが形成する所定ピッチのワイヤ列に被切断物を押しつけながら研削作用によって多数のウエハに切断するマルチワイヤソーにおいて、被切断物押上台に装着されたベースに底板部と側板部とからなるL字形断面のダミー部材を固定し、該L字形ダミー部材の上に前記被切断物を載置し、該被切断物に作用する研削抵抗をこのダミー部材の側板部で支持しつつ切断を行い、ダミー部材底板部までワイヤにて切込み切断した後、ウエハをダミー部材から取出すことを特徴とするマルチワイヤソーによる切断方法。
IPC (3件)：
B24B 27/06
, B28D 1/08
, B28D 1/22
