有機電界発光素子の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-001893
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200680
出願日： 1999年01月07日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】発光層用シャドーマスクと第二電極用シャドーマスクをそれぞれ別個に作製するという手間を解消し、有機電界発光素子の製造工程でシャドーマスクの交換という素子の性能または設備コストに重大な影響を与える課題を解決する素子製造方法を提供する。【解決手段】基板上に形成された第一電極上に少なくとも有機化合物からなる発光層を含む薄膜層を形成する工程と、第二電極を前記薄膜上に形成する工程を含む有機電界発光素子の製造方法であって、シャドーマスクを用いて発光層を1回の蒸着工程でパターニングし、前記発光層パターニング工程において使用したシャドーマスクと基板との相対位置を保持した状態で蒸着を行うことにより第二電極の一部をパターニングし、前記1回目の第二電極パターニング工程において使用したシャドーマスクと前記基板との相対位置を変化させた状態で蒸着を行うことにより第二電極の残りの部分をパターニングすることを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された第一電極上に少なくとも有機化合物からなる発光層を含む薄膜層を形成する工程と、第二電極を前記薄膜上に形成する工程を含む有機電界発光素子の製造方法であって、シャドーマスクを用いて発光層を1回の蒸着工程でパターニングし、前記発光層パターニング工程において使用したシャドーマスクと基板との相対位置を保持した状態で蒸着を行うことにより第二電極の一部をパターニングし、前記1回目の第二電極パターニング工程において使用したシャドーマスクと前記基板との相対位置を変化させた状態で蒸着を行うことにより第二電極の残りの部分をパターニングすることを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。

IPC (4件)：

H05B 33/10 , G09F 9/30 365 , H05B 33/14 , H05B 33/26

FI (4件)：

H05B 33/10 , G09F 9/30 365 B , H05B 33/14 A , H05B 33/26 Z

Fターム (18件)：

3K007AB00 , 3K007AB04 , 3K007AB18 , 3K007CA01 , 3K007CB01 , 3K007DA00 , 3K007DB03 , 3K007FA00 , 3K007FA01 , 5C094AA05 , 5C094AA08 , 5C094AA10 , 5C094AA43 , 5C094BA27 , 5C094CA24 , 5C094EA05 , 5C094FB01 , 5C094GB10

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