特許
J-GLOBAL ID:200903002760309867

曲がり光導波路基板の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 井桁 貞一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-124002
公開番号(公開出願番号):特開平5-319843
出願日: 1992年05月18日
公開日(公表日): 1993年12月03日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、曲がり光導波路基板の製造方法に関し、屈折率分布に変化を与えて曲がり光導波路部分の曲率を大に形成し得ること。【構成】 基板21上にクラッドスート層22と光導波路コアスート層とを形成して硝子化するとともに該硝子化された光導波路コア硝子層を曲がり光導波路コア24に形成してさらに該光導波路コアを覆うクラッドスート層37を形成し該クラッドスート層を硝子化して曲がり光導波路基板を形成する製造方法であって、上記曲がり光導波路コア24部分となるべき部分と該部分と他の光導波路コア23部分となるべき部分に、クラッドスート層22またはコアスート層の形成時に部分25的な温度変化を与えにことによって屈折率制御材の添加濃度の疎密を形成させ上記曲がり光導波路コア24部分とクラッド層28との比屈折率差を他の部分よりも大ならしめる。
請求項(抜粋):
基板(21)上にクラッドスート層(22)と光導波路コアスート層とを形成して硝子化するとともに該硝子化された光導波路コア硝子層を曲がり光導波路コア(24)に形成してさらに該光導波路コアを覆うクラッドスート層(37)を形成し該クラッドスート層を硝子化して曲がり光導波路基板を形成する製造方法であって、上記曲がり光導波路コア(24)部分となるべき部分と該部分と他の光導波路コア(23)部分となるべき部分に、クラッドスート層(22)またはコアスート層の形成時に部分(25)的な温度変化を与えることによって屈折率制御材の添加濃度の疎密を形成させ上記曲がり光導波路コア(24)部分とクラッド層(28)との比屈折率差を他の部分よりも大ならしめることを特徴とする曲がり光導波路基板の製造方法。
IPC (3件):
C03B 19/01 ,  C03B 19/14 ,  G02B 6/12

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