分光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松井伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-123318
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306135
出願日： 1994年05月13日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】集光させたレーザー光のほぼ焦点上に試料を配置することができ、測定精度の向上を図ることのできる分光装置を提供すること。【構成】ラマン分析を行うためのレーザー光と、焦点合わせを行うための参照光とを共通化している。光源1から出射される光は、所定の光学系3,4及び対物レンズ5を通って試料6に集光され照射される。試料から発生したラマン散乱光の一部は第2のハーフミラー9,集光レンズ20を介してそのレンズの焦点位置に配置されたピンホール板21に至る。そしてピンホール板の上方には光センサ22を配置する。すると、焦点があった時は、ピンホール板の位置に収束しすべての光が通過するので、光センサでの受光強度は最大となる。よって、CPU26で係る受光強度が最大になるように各駆動装置5a,8aを作動し、対物レンズ,Zステージを上下動させる。

請求項（抜粋）：

所定の光を集光光学系を介して集光させて試料に照射させ、その照射に基づいてその試料から発生する戻り光を分光器に入射することにより分析処理を行う分光装置において、前記集光光学系と前記試料との距離を変更する駆動手段と、前記集光光学系を介して前記試料に参照光を照射する手段と、前記参照光の前記試料からの戻り光の一部を取り出す光分離手段と、前記光分離手段により取り出された光を集光する集光手段と、その集光手段の焦点位置に配置されたピンホール板と、前記ピンホール板を通過した光の強度を検出する光センサと、その光センサの出力を受け、前記検出された光強度が最大になるように前記駆動手段の駆動を制御する制御手段とを備えた分光装置。

IPC (3件)：

G01N 21/13 , G01N 21/27 , G01N 21/65

引用特許：

審査官引用 (5件)

分光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-166708 出願人：日本分光株式会社
特開昭57-064712
特開平2-014433

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