電気的特性測定用装置および電気的特性測定方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：大垣孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-334319
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164648
出願日： 1998年11月25日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】不活性ガス雰囲気中で安定な測定を、スピーディにかつ安価に行うことができる電気的特性測定装置で、よりコンパクトな装置および測定方法。【解決手段】半導体素子19の測定端子と探針13との接触点を少なくとも囲む空間領域の雰囲気を不活性ガス雰囲気にするための不活性ガス噴出部21を具えている。

請求項（抜粋）：

半導体素子の測定端子に探針を接触させて該半導体素子の電気的特性を測定する電気的特性測定用装置において、前記測定端子および前記探針間の接触点を少なくとも囲む空間領域の雰囲気を不活性ガス雰囲気にするための、不活性ガス噴出部を具えていることを特徴とする電気的特性測定用装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 , G01R 31/26

FI (2件)：

H01L 21/66 B , G01R 31/26 J

Fターム (12件)：

2G003AA02 , 2G003AC08 , 2G003AG03 , 2G003AH00 , 2G003AH05 , 4M106AA02 , 4M106AB01 , 4M106BA01 , 4M106BA14 , 4M106CA70 , 4M106DD22 , 4M106DD30

引用特許：

出願人引用 (2件)

審査官引用 (2件)

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