特許

J-GLOBAL ID：200903002776170664

アライメントマーク

発明者： 浅野 武史
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-138985
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329516
出願日： 1999年05月19日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】 光学系を低倍率に設定した状態で、高精度の位置合わせを行うことができ、位置合わせ装置の画像処理機構を簡素化する。【解決手段】 一方のアライメントマーク200は、予め設定された基準方向に対して平行方向の線分201A、201Bと直交方向の線分202A、202Bとが、全体として略+字状に交差している。また、各線分201A、201B、202A、202Bが交差する中心部に、円形のネガマーク203Aを構成する正方形のマーク203が形成されている。また、他方のアライメントマーク300は、各線分201A、201B、202A、202Bを挟んで線対称となる複数対の線分301A、301B、302A、302Bを有する。また、各線分301A、301B、302A、302Bが交差する中心部に、円形のポジマーク303が形成されている。

請求項（抜粋）：

少なくとも一方が透明な一対の被位置合わせ部材に設けられ、前記各被位置合わせ部材を互いに重ね合わせて位置合わせする際に、互いに重ね合わされて位置合わせ状態を確認するためのアライメントマークにおいて、一方の被位置合わせ部材のアライメントマークは予め設定された基準方向に対して平行方向と直交方向の線分より構成され、他方の被位置合わせ部材のアライメントマークは前記平行方向及び/または直交方向の線分に対して所定の角度を有し、前記平行方向または直交方向の線分を挟んで線対称となる複数対の線分の組み合わせより構成されている、ことを特徴とするアライメントマーク。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 349

FI (3件)：

G01B 11/00 A ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 349 D

Fターム (24件)：

2F065AA20 ,  2F065BB28 ,  2F065CC25 ,  2F065DD00 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP11 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2H088FA16 ,  2H088HA08 ,  2H088HA12 ,  2H088MA20 ,  5G435AA00 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435EE33 ,  5G435GG12 ,  5G435HH02 ,  5G435KK05 ,  5G435KK09 ,  5G435KK10