特許
J-GLOBAL ID：200903002777726623
反射防止膜用材料及び反射防止膜形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北野 好人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-252647
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102673
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】本発明は、レジスト層と反射防止膜との間にインターミキシング層の発生することを防止し得る反射防止膜用材料及び反射防止膜形成方法を提供することを目的としている。【構成】本発明による反射防止膜用材料においては、不揮発成分の主材として熱架橋基を有するアクリル骨格ポリマーを用いることとしている。また、本発明による反射防止膜形成方法においては、上記本発明による反射防止膜用材料を被エッチング物上に塗布した後、この反射防止膜用材料を加熱して熱架橋基を熱架橋させることとしている。
請求項（抜粋）：
フォトレジストを露光する露光光の反射を防止するために被エッチング物上に形成される反射防止膜に用いられる反射防止膜用材料において、熱架橋基を有するアクリル骨格ポリマーを含むことを特徴とする反射防止膜用材料。
IPC (2件)：
G03F 7/11 503
, H01L 21/027
