電子顕微鏡用試料ホルダ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-281310
公開番号（公開出願番号）：特開平6-068828
出願日： 1992年10月20日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】【目的】試料ホルダにおける試料の位置を高精度に制御することを目的とする。【構成】試料台を熱良導体で、外枠を断熱体で構成し、また、軸受ロッドを低熱伝導体で構成する。【効果】試料の温度分布が均一になり、温度ドリフトが小さくなる。また、試料台傾斜用ロッドの熱膨張が傾斜角に影響を与えない。このため、電子顕微鏡による高精度の観察と種々の測定ができる。

請求項（抜粋）：

外枠内に試料台を設置した電子顕微鏡用試料ホルダにおいて、前記試料台を形成する材料の熱伝導率を前記外枠を形成する材料の熱伝導率よりも大きくすることを特徴とした電子顕微鏡用試料ホルダ。

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