特許
J-GLOBAL ID：200903002781888280
ウェハー貯蔵及び運搬用のコンテナ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 英彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-356749
公開番号（公開出願番号）：特開平6-092389
出願日： 1992年12月21日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 半導体ウェハーを汚染することなく貯蔵するためのコンテナ及び方法の提供。【構成】 コンテナはシールされた上部と底部とを有する。半導体ウェハーを部分真空の中で貯蔵するためのガス受容用ステム及びバルブを有する。一部は薄いコンテナ壁を有する。この薄い壁は半導体ウェハーの端部と隣接するフレキシブルな膜からなっている。この膜は引き付けられてウェハーに当接し、ウェハーをコンテナ内で所定の位置に保持する。閉じられたコンテナの壁はダイヤモンド状のコーティングによって被われている。ウェハーをマルチ部材のコンテナの中に収容し、コンテナをシールし、コンテナ内のガス圧力を下げることによって修正し、空気を不活性ガスに置き換えてガス雰囲気を変え、開けるときに粒子をできる限り含まない空気を内部に供給することによってコンテナ内の真空圧力を緩和する。
請求項（抜粋）：
硬い材料からなるウェハー貯蔵及び運搬用のコンテナであって、個々のウェハーを離間した状態で互いに対向する形に保持するためのスペーサ部材を備えた内側部分を有し、また前記内側部分へアクセスできるようにするために互いに分離可能なディスクリート部を有し、前記ディスクリート部が解放可能かつ密閉された状態で一体にシールされ、前記ディスクリート部の一つがバルブの設けられたガスポートを有していて前記内側部分の中のガス雰囲気の一部を引き抜いたり一部を追加したりすることを容易にしているコンテナ。
IPC (2件)：
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