特許

J-GLOBAL ID：200903002782476694

ポリシリコンTFT式LCD用石英ガラス基板

発明者： 斎藤 和也 ,  関谷 エジソン 晴彦 ,  垣内田 洋 ,  生嶋 明 ,  下平 憲昭
出願人/特許権者： 学校法人トヨタ学園 ,  旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 角田 衛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-021795
公開番号（公開出願番号）：特開2005-215319
出願日： 2004年01月29日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：

【課題】プロジェクター等の小型の高精細ポリシリコンTFT式LCD製造用に適した、寸法安定性に優れるポリシリコンTFT式LCD用石英ガラス基板の提供。【解決手段】F濃度がモル百分率表示で3.0〜3.8mol%であり、かつアルカリ金属酸化物を実質的に含有しない、石英ガラスからなることを特徴とするポリシリコンTFT式LCD用石英ガラス基板。または、Cl濃度がモル百分率表示で3.0〜4.2mol%であり、かつアルカリ金属酸化物を実質的に含有しない石英ガラスからなることを特徴とするポリシリコンTFT式LCD用石英ガラス基板。【選択図】なし

請求項１：

F濃度がモル百分率表示で2.8〜3.8mol%であり、かつアルカリ金属酸化物を実質的に含有しない石英ガラスからなることを特徴とするポリシリコンTFT式LCD用石英ガラス基板。

IPC (4件)：

G02F1/1333 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  H01L29/786

FI (4件)：

G02F1/1333 500 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  H01L29/78 626C

Fターム (77件)：

2H090JB02 ,  2H090JB12 ,  2H090JD15 ,  2H090JD18 ,  2H090LA04 ,  4G062AA04 ,  4G062BB01 ,  4G062BB02 ,  4G062CC07 ,  4G062CC10 ,  4G062DA07 ,  4G062DA08 ,  4G062DB01 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FA10 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FD04 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062GE03 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ06 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM12 ,  4G062NN30 ,  4G062NN31 ,  4G062NN34 ,  5F110AA30 ,  5F110BB01 ,  5F110DD03 ,  5F110DD06 ,  5F110DD24 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ポリシリコンTFT式LCD用石英ガラス基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-327149   出願人：旭硝子株式会社