特許

J-GLOBAL ID：200903002802936220

測定試料の光学的評価方法およびその装置

発明者： 村井 健介 ,  塚本 雅裕
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団 ,  独立行政法人産業技術総合研究所
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-085825
公開番号（公開出願番号）：特開2002-286632
出願日： 2001年03月23日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：

【要約】【課題】 全反射減衰法において、表面プラズモン共鳴の角度依存性と波長依存性の両方の情報を同時に得ることにより、情報量が多く、かつ信頼性の高い測定試料の光学的評価方法およびその装置を提供する。【解決手段】 測定試料の光学的評価装置において、白色光源と、底面に測定試料5を取り付けたプリズム6と、反射光8の角度広がり方向と平行に配置される分光スリット11と、分光器20と、画像位置に配置される二次元光検出器31とを具備する。

請求項（抜粋）：

全反射減衰法において、白色光を、試料を取り付けたプリズムへ広い範囲の入射角で入射し、角度広がり方向と平行に分光スリットを配置して分光器を通した後、画像位置に二次元光検出器を配置することにより、表面プラズモン共鳴の角度依存性と波長依存性を同時に示す二次元画像を取得することを特徴とする測定試料の光学的評価方法。

IPC (4件)：

G01N 21/27 ,  G01J 3/28 ,  G01N 21/01 ,  G01B 11/30

FI (4件)：

G01N 21/27 C ,  G01J 3/28 ,  G01N 21/01 Z ,  G01B 11/30 Z

Fターム (51件)：

2F065AA49 ,  2F065CC31 ,  2F065DD06 ,  2F065FF41 ,  2F065FF46 ,  2F065FF49 ,  2F065GG02 ,  2F065GG12 ,  2F065GG24 ,  2F065HH04 ,  2F065HH08 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ26 ,  2F065KK01 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL15 ,  2F065LL18 ,  2F065LL19 ,  2F065LL28 ,  2F065LL33 ,  2F065LL46 ,  2F065LL47 ,  2F065LL67 ,  2F065MM25 ,  2F065SS01 ,  2F065SS13 ,  2G020BA17 ,  2G020CA15 ,  2G020CB25 ,  2G020CC02 ,  2G020CC42 ,  2G020CD12 ,  2G020CD15 ,  2G020CD24 ,  2G020CD51 ,  2G059AA02 ,  2G059BB10 ,  2G059CC20 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059GG04 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK04