特許
J-GLOBAL ID：200903002803988704
圧力センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-085105
公開番号（公開出願番号）：特開2002-286568
出願日： 2001年03月23日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：
【要約】【課題】 部品点数が少なく、密閉空間の内圧、例えば、自動車タイヤ内の空気圧を高精度で測定できるとともに、動作不良が生じくい小型の圧力センサを提供することにある。【解決手段】 上方に膨出するダイヤフラム17の周辺縁部をベース部材10に固着一体化して密閉した基準圧力室30を形成する。そして、前記基準圧力室30内で、前記ダイヤフラム17の下面に位置する可動電極19に、固定電極14を所定間隔で対向するように配置した。
請求項（抜粋）：
上方に膨出する隔膜の周辺縁部をベース部材に固着一体化して密閉した基準圧力室を形成するとともに、前記隔膜の下面を可動電極とする一方、前記基準圧力室内で前記可動電極に所定間隔で対向するように固定電極を配置したことを特徴とする圧力センサ。
Fターム (8件)：
2F055AA12
, 2F055BB19
, 2F055CC02
, 2F055DD20
, 2F055EE25
, 2F055FF01
, 2F055FF38
, 2F055GG11
