特許

J-GLOBAL ID：200903002807472591

ペースト塗布機

発明者： 石田 茂 ,  齊藤 正行 ,  三階 春夫
出願人/特許権者： 日立テクノエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-256816
公開番号（公開出願番号）：特開平11-090303
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：

【要約】【課題】 待機状態においても、ノズルの先端でのペーストの垂れ量を制御し、除去できるようにする。【解決手段】 シリンジ13に設けられたノズルの先端を画像認識カメラ16cで撮影するようにし、基板の画像位置決め時のみ使用する画像処理装置17iを用いて、画像認識カメラ16cの撮影画像からノズルの先端でのペーストの垂れ量を求め、この測定結果から、シリンジ13内に負圧を作用させる真空度,印加時間を決定し、しかる後、シリンジ13内に負圧を作用させてノズルの先端から垂れている液を引き込み、ノズルの先端でのペースト垂れ量をフィードバック制御する。また、このペースト垂れ量が多い場合には、基板テーブルに設けられたダミー塗布部22にノズルの先端から垂れ出たペーストで描画し、これを取り除く。これにより、ノズル先端でのペーストの垂れ状態が保たれる。

請求項（抜粋）：

ノズルの吐出口に対向するようにして基板をテーブル上に載置し、ペースト収納筒に充填したペーストを該吐出口から該基板上に吐出させながら該基板と該ノズルとの相対位置関係を変化させることにより、該基板上に所望形状のペーストパターンを描画するペースト塗布機において、該ノズルの先端でのペースト垂れ量の許容量を任意に設定する設定手段と、該ノズルの先端でのペースト垂れ状態を画像認識する画像認識手段と、該画像認識手段で得られた画像を処理して、該ノズルの先端でのペースト垂れ量が該設定手段で設定されたペースト垂れ量の許容量以内か否かを判断する判断手段と、該判断手段による判断の結果、該ノズルの先端でのペースト垂れ量が該許容量以内であるときには、該ペースト収納筒に負圧を作用させてペーストの垂れ量を制御する制御手段と、該判断手段による判断の結果、該ノズルの先端でのペースト垂れ量が該許容量を越えているときには、該テーブルに設置したダミー塗布部で描画を行なわせ、該ノズルより垂れ出たペーストを除去する除去手段とを設けたことを特徴とするペースト塗布機。

IPC (3件)：

B05C 11/10 ,  B05C 5/00 101 ,  H05K 3/10

FI (3件)：

B05C 11/10 ,  B05C 5/00 101 ,  H05K 3/10 D

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-303570
  
• 特開平2-122858
  
• 高粘性流体塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-102106   出願人：富士機械製造株式会社