特許
J-GLOBAL ID：200903002813631669
基板の欠陥検査方法および検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-131056
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014549
出願日： 1998年04月24日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】表面に凹凸の段差のある基板の欠陥検査が可能な基板の欠陥検査方法および検査装置を提供することにある。【解決手段】段差の上面からすそ野部分の範囲が照射できる所定の俯角でかつ段差の形成方向に対して傾斜させ段差の両側からそれぞれ第1および第2の照射光学系により基板に対して設定される検査領域に光束を照射し、所定の俯角で第3の照射光学系により段差の形成方向と平行な方向から検査領域に対して光束を照射し、第1、第2および第3の照射光学系による検査領域からの散乱光を光学センサで受けてこの光学センサからの検出信号に基づいて基板の欠陥を検出するものである。
請求項（抜粋）：
多数の凹凸段差を表面に有する基板の欠陥を検査する基板検査方法において、前記段差の上面からすそ野部分の範囲が照射できる所定の俯角でかつ前記段差の形成方向に対して傾斜させ前記段差の両側からそれぞれ第1および第2の照射光学系により前記基板に対して設定される検査領域に光束を照射し、所定の俯角で第3の照射光学系により前記段差の形成方向と平行な方向から前記検査領域に対して光束を照射し、前記第1、第2および第3の照射光学系による前記検査領域からの散乱光を光学センサで受けてこの光学センサからの検出信号に基づいて前記基板の欠陥を検出する基板の検査方法。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01M 11/00
, G06T 7/00
, G09G 3/28
, H01J 9/42
G01N 21/88 D
, G01M 11/00 T
, G09G 3/28 F
, H01J 9/42 A
, G06F 15/62 400
