特許
J-GLOBAL ID:200903002815655948

蒸着用るつぼ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伴 俊光
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-099759
公開番号(公開出願番号):特開平8-269695
出願日: 1995年03月30日
公開日(公表日): 1996年10月15日
要約:
【要約】【目的】 るつぼ内壁面に沿っての溶融金属のはい上りを防止する。【構成】 真空雰囲気中で金属を溶融し蒸発させるるつぼの開口部の幅が、るつぼ内の金属の蒸発面の幅よりも狭いことを特徴とする蒸着用るつぼ。
請求項(抜粋):
真空雰囲気中で金属を溶融し蒸発させるるつぼの開口部の幅が、るつぼ内の金属の蒸発面の幅よりも狭いことを特徴とする蒸着用るつぼ。
IPC (2件):
C23C 14/24 ,  F27B 14/10
FI (2件):
C23C 14/24 A ,  F27B 14/10

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