特許

J-GLOBAL ID：200903002816574690

露光装置

発明者： 宮下 正弘 ,  岡谷 秀樹 ,  中野 隆広 ,  蔵持 道広 ,  伊藤 隆夫 ,  相原 利之
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (1件)： 渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-317555
公開番号（公開出願番号）：特開平8-152718
出願日： 1994年11月28日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：

【要約】【目的】 被露光材の補給作業を簡単、かつ短時間に行って露光動作の効率を向上し得る露光装置を提供する。【構成】 第1巻出部Oaから巻出される被露光材Mを巻取る第1巻取部Icと第2巻出部Obから巻出される被露光材Mを巻取る第2巻取部Idとを設け、1つのラインが稼働している間に補給用の被露光材Mが巻付けられたボビンを予め装置にセットしておき、現在稼働中のラインの被露光材Mの終端部分と補給用の被露光材Mの始端部分とを材料繋ぎ装置14により繋ぎ、その後、巻取り位置決め用モータ7を回転させて、現在稼働中の巻取部により被露光材Mを1ショットの露光分だけ巻取らせ、切断機15により繋ぎの部分を切断して、補給用の被露光材Mの始端部分を現在非稼働中の巻取部に巻付けることにより、被露光材Mを補給する。

請求項（抜粋）：

フープ状に巻付けられた被露光材を巻出す巻出部と、該巻出部から巻出された被露光材を巻取る巻取部とが露光部の両側に配置され、前記巻出部と巻取部により被露光材を露光部に所定量ずつ送出しながら被露光材の少なくとも一方の面にマスクのパターンを露光する露光装置であって、前記巻出部は少なくとも第1巻出部と第2巻出部とを有し、前記巻取部は少なくとも前記第1巻出部から巻出される被露光材を巻取る第1巻取部と前記第2巻出部から巻出される被露光材を巻取る第2巻取部とを有し、前記第1巻出部と第1巻取部の間の経路、または前記第2巻出部と第2巻取部の間の経路での被露光材の巻取動作が完了した後に、他方の前記第2巻出部と第2巻取部の間の経路、または前記第1巻出部と第1巻取部の間の経路での被露光材の巻取動作を開始させて両経路で交互に巻取動作を実行させる巻取駆動部と、前記巻出部と露光部との間に配置され、前記第1巻出部に巻付けられた被露光材の終端部と前記第2巻出部に巻付けられた被露光材の始端部とを繋ぐための繋ぎ機と、前記巻取部と露光部との間に配置され、前記繋ぎ機により繋がれた被露光材を切断するための切断機とを備えたことを特徴とする露光装置。