特許
J-GLOBAL ID：200903002817485713
可変開口分離フィルタおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-150680
公開番号（公開出願番号）：特開平11-328715
出願日： 1998年05月14日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：
【要約】【課題】 フィルタ膜と位相調整膜との位相差の波長依存性を小さくするとともに、効率良くリフトオフ処理を行い、可変開口分離フィルタを安定かつ安価に製作するようにする。【解決手段】 フィルタ膜50と位相調整膜52とが多数の層で構成され、それぞれの膜については、TiO2 などの高屈折率材料からなる高屈折率層Hと、SiO2 などの低屈折率材料からなる低屈折率層Lとを交互に積層したものを基本構成とし、これらの最上層と最下層とに高屈折率層Hと低屈折率層Lとの中間の屈折率を持った、Al2O 3などの中間屈折率材料からなる中間屈折率層Mを配置する。また、これらのフィルタ膜50と位相調整膜52とをガラス基板60上に形成する際のリフトオフ処理工程で用いるリフトオフ用マスクとしては、アルミニウム100%の層と、アルミニウムに銅が添加された少なくとも2つの層を用いるようにする。
請求項（抜粋）：
フィルタ膜と位相調整膜とを備えた可変開口分離フィルタにおいて、前記フィルタ膜及び前記位相調整膜は、透過光の光軸方向にそれぞれ多数の層が積層されて構成されていることを特徴とする可変開口分離フィルタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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