デジタルマイクロミラーリセット方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-240757
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189871
出願日： 1996年09月11日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】デジタルマイクロミラーデバイスのミラー要素をリセットするための方法を得る。【解決手段】ミラー要素と、それが着地する表面とに対してバイアス電圧が供給され、番地電圧のスイッチングの間に除去される。バイアスが除去される直前に、ミラーの共鳴周波数に合致する周波数で複数のパルスを含むリセット電圧がバイアス電圧へ加えられる。この結果、リセット電圧の振幅は、振動エネルギーの蓄積を許容する合計印加電圧となるものの、リセット信号の最後までミラーを付着から解放するには不十分なものである。言い替えれば、リセット電圧の振幅はバイアス電圧のそれと比べて小さい。

請求項（抜粋）：

マイクロメカニカルデバイスの可動要素をリセットする方法であって、前記可動要素が番地電圧によって着地表面の方向へ引き寄せられるようになっており、前記可動要素が既知の共鳴周波数を有しており、次の工程、前記可動要素と前記着地表面とに対してバイアス電圧を供給すること、前記番地電圧をスイッチングすること、前記バイアス電圧の振幅よりも小さい振幅を有し、前記可動要素の共鳴周波数と本質的に同じ周波数を有する複数のパルスを有するリセット電圧を前記番地電圧に対して加えること、および前記可動要素がリセットされるまで前記バイアス電圧を除去すること、を含む方法。

引用特許：

出願人引用 (4件)

2安定DMDアドレス指定法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-258606 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
特開平3-174112
特開平4-230724

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審査官引用 (1件)

2安定DMDアドレス指定法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-258606 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド

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