特許

J-GLOBAL ID：200903002819897326

異物検査装置

発明者： 萩原 恒幸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-099933
公開番号（公開出願番号）：特開平9-288064
出願日： 1996年04月22日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【課題】 平坦状の異物の検出が可能な異物検査装置を提供する。【解決手段】 パターンが描画されているフォトマスク上の異物を光学的に検出する異物検査装置は、フォトマスクを照明する照明光学系と、フォトマスクからの光を偏光状態に応じて第1の光束と第2の光束とに分離する光束分離手段と、第1の光束と第2の光束との間の相対的な位相差を調整する位相差調整手段と、第1の光束の光波の振幅及び第2の光束の光波の振幅の少なくとも一方を調整する振幅調整手段と、第1の光束の光路長と第2の光束の光路長とが実質的に等しくなる位置に配設される光束合成手段であって、それらの間の相対的な位相差が調整され且つそれらの光波の振幅の少なくとも一方が調整された第1の光束と第2の光束とを合成するものと、光束合成手段によって合成された光束の強度分布を観察する観察手段とを具備している。

請求項（抜粋）：

所定のパターンが描画されているフォトマスク上の異物を光学的に検出する異物検査装置であって、前記フォトマスクを照明する照明光学系と、前記フォトマスクからの光を偏光状態に応じて第1の光束と第2の光束とに分離する光束分離手段と、前記第1の光束と前記第2の光束との間の相対的な位相差を調整する位相差調整手段と、前記第1の光束の光波の振幅及び前記第2の光束の光波の振幅の少なくとも一方を調整する振幅調整手段と、前記第1の光束の光路長と前記第2の光束の光路長とが実質的に等しくなる位置に配設される光束合成手段であって、それらの間の相対的な位相差が調整され且つそれらの光波の振幅の少なくとも一方が調整された前記第1の光束と前記第2の光束とを合成するものと、前記光束合成手段によって合成された光束の強度分布を観察する観察手段と、を具備する異物検査装置。