特許

J-GLOBAL ID：200903002820312552

アモルファス状金属酸化物の薄膜材料

発明者： 国武 豊喜 ,  一ノ瀬 泉 ,  藤川 茂紀 ,  黄 建国
出願人/特許権者： 理化学研究所
代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-392088
公開番号（公開出願番号）：特開2002-338211
出願日： 2001年12月25日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】 低密度のアモルファス状金属酸化物薄膜を厚み精度よく且つ確実に形成し得る製造方法を提供すること。【解決手段】 有機成分が分子的に分散した有機/金属酸化物複合薄膜から酸素プラズマ処理により有機成分を取り除くことによりアモルファス状金属酸化物薄膜を製造する。

請求項（抜粋）：

有機成分が分子的に分散した有機/金属酸化物複合薄膜の有機成分に対応する部分が除去された構造を有するアモルファス状金属酸化物の薄膜材料。

IPC (4件)：

C01B 13/14 ,  C01G 23/07 ,  C01G 25/00 ,  C01G 25/02

FI (4件)：

C01B 13/14 Z ,  C01G 23/07 ,  C01G 25/00 ,  C01G 25/02

Fターム (22件)：

4G042DA01 ,  4G042DA02 ,  4G042DB16 ,  4G042DC03 ,  4G042DD02 ,  4G042DD11 ,  4G042DE09 ,  4G042DE12 ,  4G047CA01 ,  4G047CA08 ,  4G047CB04 ,  4G047CB06 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02 ,  4G048AA02 ,  4G048AA03 ,  4G048AB01 ,  4G048AB02 ,  4G048AC08 ,  4G048AD02 ,  4G048AE05 ,  4G048AE08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 反射防止材料及びそれを用いた偏光フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-364126   出願人：株式会社巴川製紙所
• 無機多孔質膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-172585   出願人：株式会社クボタ
• 金属酸化物、その薄膜及びこれを製造する方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-143206   出願人：コニカ株式会社
• 特開平1-212203
  

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Preparation of Nanoporous Titania Films by Syrface Sol-Gel Process Accompanied by Low-Temperature Ox