ウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩見知典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-322879
公開番号（公開出願番号）：特開2008-138227
出願日： 2006年11月30日
公開日（公表日）： 2008年06月19日
要約：

【課題】蒸着開始時の低速度から定常速度までの間の蒸着膜厚を均一にすることにより、ロスを減少し生産性を向上することのできるウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法を提供する。【解決手段】減圧下で連続したウエッブ状被蒸着材の少なくとも一方の表面に蒸着材料を加熱蒸発させる加熱手段を用いて蒸着する真空蒸着装置において、前記ウエッブ状被蒸着材の表面上の蒸着膜厚を検出する蒸着膜厚検出手段と前記蒸着膜厚検出手段による検出値に基づいて蒸着膜厚を制御するに際し、前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度が蒸着開始時から定常蒸着時の走行速度に達するまでの加速中の間は、蒸着材料を加熱蒸発させるための導入電力量を予め設定したプログラムにより段階的に上昇させながら、蒸着膜厚検出手段の検出値と目標膜厚の偏差から前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度を制御することを特徴とするウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

減圧下で連続したウエッブ状被蒸着材の少なくとも一方の表面に蒸着材料を加熱蒸発させる加熱手段を用いて蒸着する真空蒸着装置において、前記ウエッブ状被蒸着材の表面上の蒸着膜厚を検出する蒸着膜厚検出手段と前記蒸着膜厚検出手段による検出値に基づいて蒸着膜厚を制御するに際し、前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度が蒸着開始時から定常蒸着時の走行速度に達するまでの加速中の間は、蒸着材料を加熱蒸発させるための導入電力量を予め設定したプログラムにより段階的に上昇させながら、蒸着膜厚検出手段の検出値と目標膜厚の偏差から前記ウエッブ状被蒸着材の走行速度を制御することを特徴とするウエッブ状被蒸着材の蒸着膜厚制御方法。

IPC (1件)：

C23C 14/24

FI (1件)：

C23C14/24 U

Fターム (9件)：

4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029BA03 , 4K029CA01 , 4K029DB03 , 4K029DB17 , 4K029EA01 , 4K029JA10 , 4K029KA03

引用特許：

出願人引用 (1件)

蒸着膜厚の制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-090460 出願人：三菱重工業株式会社

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