特許

J-GLOBAL ID：200903002827494079

メンテナンス一括管理装置

発明者： 大西 孝明
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-289965
公開番号（公開出願番号）：特開2003-099114
出願日： 2001年09月21日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：

【要約】【課題】作業員が各装置に出向く回数を最小限に減少させ、メンテナンス管理を簡単に行うこと。【解決手段】メンテナンス情報を送受信可能な複数の検査・製造装置10-1〜10-3,11-1〜11-3と、各検査・製造装置に通信手段(LAN14)を介して接続され、当該各装置のメンテナンス項目を一括管理し、各検査・製造装置に対する異常・寿命を検出する管理手段17と、この管理手段により一括管理された各検査・製造装置のメンテナンス情報を表示するモニタ装置16とを具備した。

請求項（抜粋）：

メンテナンス情報を送受信可能な複数の検査・製造装置と、前記各検査・製造装置に通信手段を介して接続され、当該各装置のメンテナンス項目を一括管理し、前記各検査・製造装置に対する異常・寿命を検出する管理手段と、この管理手段により一括管理された前記各検査・製造装置のメンテナンス情報を表示するモニタ装置と、を具備したことを特徴とするメンテナンス一括管理装置。

IPC (4件)：

G05B 19/418 ,  G06F 17/60 106 ,  G06F 17/60 138 ,  H01L 21/02

FI (4件)：

G05B 19/418 Z ,  G06F 17/60 106 ,  G06F 17/60 138 ,  H01L 21/02 Z

Fターム (5件)：

3C100AA38 ,  3C100AA56 ,  3C100AA63 ,  3C100CC02 ,  3C100EE08