電子顕微鏡システム

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-274098
公開番号（公開出願番号）：特開2000-106120
出願日： 1998年09月28日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：

【要約】【課題】低温および高温環境下でも高分解能で試料の観察を行なうことのできる、新しい電子顕微鏡装置を提供する。【解決手段】パルス電圧印加手段(36)、マイクロチャネルプレート(4)、およびCCD撮影機(6)が備えられており、パルス電圧印加手段(36)によりマイクロチャネルプレート(4)に短時間幅のパルス電圧が印加され、マイクロチャネルプレート(4)に入力された電子顕微鏡像(3)が印加パルス電圧の短時間幅で連続して出力され、この短時間幅での連続電子顕微鏡像(3)がCCD撮影機(6)により順次撮影される。

請求項（抜粋）：

パルス電圧印加手段、マイクロチャネルプレート、およびCCD撮影機が備えられており、パルス電圧印加手段によりマイクロチャネルプレートに短時間幅のパルス電圧が印加され、マイクロチャネルプレートに入力された電子顕微鏡像が印加パルス電圧の短時間幅で連続して出力され、この短時間幅での連続電子顕微鏡像がCCD撮影機により順次撮影されることを特徴とする電子顕微鏡装置。

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