特許
J-GLOBAL ID：200903002841745734
ニオブ酸リチウム単結晶薄膜
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 順三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-043945
公開番号（公開出願番号）：特開平5-000896
出願日： 1991年02月18日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【目的】 結晶性, 高い閉じ込め効率, パワー密度が高く、逆に光伝搬損失などは小さい単結晶光導波路を得ること。【構成】 異種元素(Ti, Cr, Fe, Ni, Nd, Mg, Vなど)を含むニオブ酸リチウム単結晶基板上に、結晶転写特性に優れたタンタル酸リチウム単結晶薄膜を形成した擬似基板層を中間層として設け、さらにその上にニオブ酸リチウム単結晶薄膜からなる光導波層を育成して3層(LN-LT-LN)構造とした光導波路とする。しかも、この光導波路は、LN基板-LT薄膜(擬似基板層)-LN薄膜(導波層)が、a軸の結晶格子が互いに格子整合されているものである。
請求項（抜粋）：
ニオブ酸リチウム単結晶基板と、この基板の結晶特性を転写する性質に優れ、異種元素を含有する単結晶薄膜からなる擬似基板層と、そしてこの擬似基板層の単結晶上にニオブ酸リチウム単結晶薄膜とを順次に積層してなる3層構造のニオブ酸リチウム単結晶薄膜。
IPC (4件)：
C30B 29/30
, G02B 6/12
, G02F 1/35 505
, C30B 19/00
