特許

J-GLOBAL ID：200903002848563852

静電リレー

発明者： 相澤 浩一 ,  阪井 淳 ,  柿手 啓治 ,  西村 広海 ,  笠野 文宏 ,  粟井 崇善
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 松本 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-153536
公開番号（公開出願番号）：特開平5-002976
出願日： 1991年06月25日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：

【要約】【目的】 外部の電磁界に影響され難く、かつ、熱衝撃に強く、さらに、駆動電極間のギャップ精度の向上が図れる静電リレーを提供する。【構成】 可動側基体Aの裏側に設けられた可動接点2と固定側基体Bの表側に設けられた固定接点3が対面するようにして前記可動側基体Aと固定側基体Bとが配置され、前記可動側基体Aが裏面に前記可動接点2を有する可動部12とこの可動部12を可動接点2と固定接点3が接離する変位可能に支持する支持部13とを備えており、前記両基体A,Bにおける駆動電極への駆動電圧印加により発生する静電力で前記可動部12が変位して接点の接離がなされるようになっている静電リレーにおいて、前記可動側基体Aと固定側基体Bとがともに導電性材料からなっていて、少なくとも一方の基体Bが半導体基板で出来ており、この半導体基板に形成された逆導電型不純物高濃度領域が一方の駆動電極22となっていることを特徴とする静電リレー1。

請求項（抜粋）：

可動側基体の裏側に設けられた可動接点と固定側基体の表側に設けられた固定接点が対面するようにして前記可動側基体と固定側基体とが配置され、前記可動側基体が裏面に前記可動接点を有する可動部とこの可動部を可動接点と固定接点が接離する変位可能に支持する支持部とを備えており、前記両基体における駆動電極への駆動電圧印加により発生する静電力で前記可動部が変位して接点の接離がなされるようになっている静電リレーにおいて、前記可動側基体と固定側基体とがともに導電性材料からなっていて、少なくとも一方の基体が半導体基板で出来ており、この半導体基板に形成された逆導電型不純物高濃度領域が一方の駆動電極となっていることを特徴とする静電リレー。