特許
J-GLOBAL ID：200903002854595790
シートの連続表面処理方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-003958
公開番号（公開出願番号）：特開平8-192044
出願日： 1995年01月13日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：
【要約】【目的】 大気圧近傍の圧力下においても、かつシート走行速度を速くしても、連続的にシートの表面処理が可能であるシートの連続表面処理方法及びその装置を提供する。【構成】 不活性ガスと処理ガスとの混合ガスを大気圧近傍の圧力下で充満させた処理容器内に、一対の金属対向電極を配設し、前記金属対向電極の間にシートを連続的に走行させつつ、前記金属対向電極間に電圧を印加して放電プラズマを発生させることにより前記シート表面を処理するシートの連続表面処理方法において、前記処理容器内へのシート導入口及び前記処理容器内からのシート排出口が、混合ガスの漏れを許容しうる程度の非気密状態にシールされており、前記金属対向電極のうちの少なくとも一方の対向面の表面が、固体誘電体により完全に覆われており、前記混合ガスを、前記シートの表面にその走行方向と逆の方向から連続的に接触させることを特徴とするシートの連続表面処理方法。
請求項（抜粋）：
不活性ガスと処理ガスとの混合ガスを大気圧近傍の圧力下で充満させた処理容器内に、一対の金属対向電極を配設し、前記金属対向電極の間にシートを連続的に走行させつつ、前記金属対向電極間に電圧を印加して放電プラズマを発生させることにより前記シート表面を処理するシートの連続表面処理方法において、前記処理容器内へのシート導入口及び前記処理容器内からのシート排出口が、混合ガスの漏れを許容しうる程度の非気密状態にシールされており、前記金属対向電極のうちの少なくとも一方の対向面の表面が、固体誘電体により完全に覆われており、前記混合ガスを、前記シートの表面にその走行方向と逆の方向から連続的に接触させることを特徴とするシートの連続表面処理方法。
IPC (2件)：
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