特許
J-GLOBAL ID：200903002857748881
搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-069246
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226457
出願日： 1992年02月17日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 例えば半導体ウエハを搬送するにあたってパーティクルの付着を抑えること。【構成】 搬送路に沿ってガイドレール3を設置し、このレール3に沿って移動するように駆動部2を設ける。この駆動部2に回転軸1を介してキャリア保持台を取り付け、キャリア保持台上に、例えば25枚のウエハを収納したキャリアCを搭載する。キャリアCの移動領域を覆うように搬送路に沿ってトンネル4を設け、トンネル4の下面に回転軸1が移動できるようにスリット41を形成し、気体導入管42からトンネル4内に例えば窒素ガスを導入してトンネル4内を陽圧状態とする。トンネル4の側面には、ウエハの受け渡し口である開口部5とシャッタ51とを設ける。
請求項（抜粋）：
被搬送体を搬送路に沿って搬送するための搬送手段と、前記被搬送体の移動領域を囲むように搬送路に沿って設けられたトンネルと、このトンネルに囲まれた空間内に気体を供給する気体供給手段とを備え、前記気体によりトンネル内を大気よりも陽圧状態にすることを特徴とする搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/00
, B65G 49/07
