特許
J-GLOBAL ID：200903002857923551
高感度反射測定装置用の光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-288591
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120379
出願日： 1993年10月25日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】 高感度反射測定装置用の光学系について、光の利用率を向上させると共に簡単な構成とし、その製作工程の簡略化並びにコスト低減を達成すること。【構成】 中央部の所定範囲が開口され、少なくともその開口端面よりも外側に1つの焦点を有し、その焦点位置に試料12が設置される非球面状の凹面鏡10、14、16が用いられる。そして、開口端からの鏡面領域幅は、鏡面に適正光源位置から入射された光の反射光が、試料12へ60°≦θ<90°(入射角θ)の範囲で入射し得る領域幅とされ、入射光は非球面状凹面鏡さらに試料面にて反射し、再び前記凹面鏡で反射して検知用の出射光となるようにしている。これにより、極めて簡単な構成で試料に対する適切かつ効率の良い光の入射を行うことが可能となっている。すなわち、非球面状の凹面鏡のみを主たる要素とし、有効光を高比率で用いることができ、検知精度も向上させることができる。
請求項（抜粋）：
試料に対する光の入射角θを60°≦θ<90°とし、その反射光を検知する高感度反射測定装置用の光学系において、非球面状の凹面鏡であって、中央部の所定範囲が開口され、その開口端面よりも外側に1つの焦点を有し、前記開口端からの鏡面領域幅は、該鏡面に適正光源位置から入射された光の反射光の少なくとも一部が前記焦点へ前記入射角θの範囲で入射し得る領域幅とされた凹面鏡を備え、前記焦点位置で前記凹面鏡の光軸に対し受光面が垂直となるように試料の設置位置が設定され、前記非球面状凹面鏡さらに前記試料面にて反射し、再び前記凹面鏡で反射した光を検知用の出射光とすることを特徴とする高感度反射測定装置用の光学系。
IPC (3件)：
G01N 21/01
, G01J 3/02
, G01J 3/42
