水晶振動子の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-133461
公開番号（公開出願番号）：特開平8-008670
出願日： 1994年06月16日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】研磨工程において低下する水晶の発振特性を回復し、高い発振特性を有する水晶振動子を得る。【構成】水晶基板に研磨加工を施した後に、水晶とエッチング液とを接触させて水晶基板のエッチング加工を行うことにより水晶振動子を製造する。この際、水晶基板のエッチング面だけでなく、このエッチング面と対向する面にもエッチングを行うことにより、研磨工程で生じる応力歪みを除去する。これによって応力歪み除去し、発振特性を回復させる。

請求項（抜粋）：

水晶基板とエッチング液とを接触させて水晶基板のエッチング加工を行う工程を有する水晶振動子の製造方法において、水晶基板のエッチング面に研磨加工を行う研磨工程と、水晶基板のエッチング面と、このエッチング面と対向する面と、の両面にエッチングを行うことにより、前記研磨工程で生じる応力歪みを除去する応力歪み除去工程と、を有することを特徴とする水晶振動子の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開昭50-093587
特開昭64-082814
特開昭52-091681

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