特許

J-GLOBAL ID：200903002866941457

ワーク位置決め装置、ワーク位置決め方法、液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器

発明者： 小島 健嗣 ,  依田 達雄
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-335841
公開番号（公開出願番号）：特開2004-172317
出願日： 2002年11月19日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】ワーク搬送テーブルの構造の簡素化、小型化、軽量化を図ることができるワーク位置決め装置、ワーク位置決め方法、前記ワーク位置決め装置を備える液滴吐出装置、前記液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、前記液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、前記電気光学装置を備える電子機器を提供すること。【解決手段】本発明の基板位置決め装置は、基板搬送テーブル3と、基板搬送テーブル3をY軸方向に移動させるY軸方向移動機構と、装置本体に設置され、基板搬送テーブル3に対する基板WのY軸方向の位置を修正するY軸方向ガイド41と、Y軸方向ガイド41を昇降させるY軸方向ガイド昇降機構42と、基板搬送テーブル3に対する基板WのX軸方向の位置を修正するX軸方向ガイドと、X軸方向ガイドをX軸方向に相対的に移動させるX軸方向移動機構と、X軸方向ガイドを昇降させるX軸方向ガイド昇降機構とを備える。【選択図】図16

請求項（抜粋）：

装置本体と、 ワークを載置可能なワーク搬送テーブルと、 前記ワーク搬送テーブルを前記装置本体に対し水平な一方向(以下、「Y軸方向」と言う)に移動させるY軸方向移動機構と、 前記装置本体に設置され、前記ワークの前記ワーク搬送テーブルに対する前記Y軸方向の位置を修正するY軸方向ガイドと、 前記Y軸方向ガイドを、前記ワーク搬送テーブルに載置されたワークの端面に当接し得る下降位置と、前記ワーク搬送テーブルに載置されたワークに干渉しない上昇位置とに昇降させるY軸方向ガイド昇降機構と、 前記ワークの前記ワーク搬送テーブルに対する前記Y軸方向に垂直であって水平な方向(以下、「X軸方向」と言う)の位置を修正するX軸方向ガイドと、 前記X軸方向ガイドを前記ワーク搬送テーブルに対し前記X軸方向に相対的に移動させるX軸方向移動機構と、 前記X軸方向ガイドを、前記ワーク搬送テーブルに載置されたワークの端面に当接し得る下降位置と、前記ワーク搬送テーブルに載置されたワークに干渉しない上昇位置とに昇降させるX軸方向ガイド昇降機構とを備えることを特徴とするワーク位置決め装置。

IPC (5件)：

H01L21/68 ,  B05C5/00 ,  B41J2/01 ,  G02B5/20 ,  G02F1/13

FI (7件)：

H01L21/68 G ,  H01L21/68 F ,  H01L21/68 P ,  B05C5/00 101 ,  G02B5/20 101 ,  G02F1/13 101 ,  B41J3/04 101Z

Fターム (48件)：

2C056EA23 ,  2C056EB11 ,  2C056EB36 ,  2C056FA10 ,  2C056FA15 ,  2C056FB01 ,  2C056HA37 ,  2C056HA38 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H088FA04 ,  2H088FA10 ,  2H088FA12 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA24 ,  2H088FA30 ,  2H088HA12 ,  2H088MA16 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AA06 ,  4F041BA13 ,  4F041BA23 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA09 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA58 ,  5F031HA13 ,  5F031JA04 ,  5F031JA28 ,  5F031JA38 ,  5F031KA02 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031KA18 ,  5F031LA08 ,  5F031LA15 ,  5F031MA21 ,  5F031MA27