特許
J-GLOBAL ID：200903002868673298
パターン検査装置の補正方式
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-145564
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337608
出願日： 1998年05月27日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 電気容量を補正することができるパターン検査装置の補正方式を提供する。【解決手段】 測定ア-ム8に取り付けられた測定針7を、プリント基板1の電気配線2上の端子3に接触させ、電気配線2と対向する導体電極9との間の第1の電気容量C1を電気容量計10で測定し、その後、その測定値と良否デ-タ格納部13に格納された電気配線の理論的な電気容量値(以下、期待値)とを、良否判定部12にて比較し、良否表示部14にて良否結果を表示する。電気容量を測定する前に、測定ア-ム8に取り付けられた測定針7を、予めプリント基板1の上に設けておいた、絶縁体で形成されかつ端子と同一形状の標準端子4に接触させ、第2の電気容量C2を電気容量計を用いて測定し、補正処理部11により補正処理する。
請求項（抜粋）：
測定ア-ムに取り付けられた測定針を、プリント基板の電気配線上の端子に接触させ、前記電気配線と対向する導体電極との間の電気容量を測定する電気容量計と、前記電気容量計による測定値と良否データ格納部に予め格納された理論的な電気容量値とを比較する良否判定部と、前記良否判定部による良否結果を表示する良否表示部とを備えたパターン検査装置において、測定したい電気容量を第1の電気容量,補正する電気容量を第2の電気容量,実際に測定された電気容量を第3の電気容量とし、前記電気容量計により測定された前記第3の電気容量から前記第2の電気容量を差し引いて補正処理した後、前記良否判定部に渡す補正処理部を備えたことを特徴とするパターン検査装置の補正方式。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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