特許
J-GLOBAL ID：200903002870508938
荷電粒子のエネルギー分布測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-194530
公開番号（公開出願番号）：特開平5-041192
出願日： 1991年08月02日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：
【要約】【目的】 本発明に関る電子分光装置は、試料の表面の原子・分子等のエネルギー状態や組成を知るものに関する。【構成】 本発明によれば、試料から放出された荷電粒子は、ドリフト空間を走行する過程で、放出時の初速度のうちの出力方向の速度差にもとずいて走行時間差が生じる。このため、時間につれて電界が単調に変化する偏向電極を通過する過程で、異なる角度に掃引され、したがってドリフト空間において初速度に応じて生じた走行時間差が、そのまま出力面板に空間分解されて現われる。また、アパーチャ手段と集束手段を設けることにより、試料から一定方向に放出された荷電粒子のみを、高い分解能で出力面板に入射できる。
請求項（抜粋）：
試料を保持するための試料保持部と、この試料にパルス状のエネルギー線を照射する励起源と、前記エネルギー線の照射により前記試料から放出された荷電粒子が走行するためのドリフト空間をあけて前記試料と対向する位置に設けられた電極を有し、前記荷電粒子による前記ドリフト空間の通過時間が前記エネルギー線のパルス幅より十分に長くなるような電界を当該ドリフト空間に形成するドリフト手段と、前記ドリフト空間を通過した前記荷電粒子を、その進行方向と直交する方向に掃引する偏向電極と、前記エネルギー線の照射時刻から所定の時間遅延した時刻において単調に変化する掃引電圧を前記偏向電極に印加する掃引電圧発生手段と、前記掃引された荷電粒子が入射される出力面板と、前記試料から前記出力面板までの空間を真空状態に保持する真空容器と、を備えることを特徴とする荷電粒子のエネルギー分布測定装置。
IPC (4件)：
H01J 37/05
, H01J 37/244
, H01J 37/252
, H01J 49/44
