特許

J-GLOBAL ID：200903002874328420

ガスセンサ

発明者： 赤丸 久光 ,  吉井 光良 ,  青山 佳弘 ,  九山 浩樹 ,  喜多 純一
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-108124
公開番号（公開出願番号）：特開平11-304743
出願日： 1998年04月17日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】 ガスセンサの感度を向上させる。【解決手段】 電極3a上の感応膜9の膜厚を電極3b上の感応膜の膜厚より厚く形成することにより、感応膜9の表面に凹凸を形成する。その結果、試料ガスと感応膜9の接触面積が増大するので、従来のガスセンサに比較して感度が向上する。

請求項（抜粋）：

絶縁基板表面に形成した2個の電極間に、導電性高分子からなる感応膜を設け、その感応膜にガス中の測定対象成分が付着した際の電極間の電気的特性の変化を測定するガスセンサにおいて、一方の電極上の感応膜の膜厚と、他方の電極上の感応膜の膜厚とが異なっていることを特徴とするガスセンサ。