特許
J-GLOBAL ID:200903002877959285
液体移送装置及び液体移送装置の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
梶 良之
, 須原 誠
, 木村 亨
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-227282
公開番号(公開出願番号):特開2008-049569
出願日: 2006年08月24日
公開日(公表日): 2008年03月06日
要約:
【課題】より一層のアクチュエータの変位量増大及びクロストークの抑制を実現しつつ、圧電層を挟む2種類の電極間のショートや放電を確実に防止可能な、圧電アクチュエータによる液体移送技術を提供すること。【解決手段】圧電層の圧力室と反対側の面の、複数の圧力室と対向する領域の全域に導電層33が形成されており、この導電層33が、圧力室の中央部と対向する領域を取り囲むように形成された第1環状溝40により部分的に除去されて、第1環状溝40の内側に個別電極32が形成されている。さらに、圧電層の圧力室と反対側の面の、圧力室の周縁部と対向する領域であって第1環状溝40よりも外側の領域に、導電層33と圧電層の両方を貫通する第2環状溝41が、圧力室の周縁に沿って形成されている。【選択図】図3
請求項(抜粋):
平面に沿って配置された複数の圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体に選択的に圧力を付与する圧電アクチュエータを備え、
前記圧電アクチュエータは、
前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットの一表面に配置された振動板と、
前記振動板の前記圧力室と反対側の面の、前記複数の圧力室と対向する領域に跨って形成された圧電層と、
前記圧電層の前記圧力室と反対側の面の、前記圧力室の中央部と対向する領域に配置された第1電極と、
前記圧電層の前記圧力室側の面に前記第1電極と対向するように配置された第2電極を有し、
前記圧電層の前記圧力室と反対側の面において、前記複数の圧力室と対向する領域に導電層が形成されるとともに、前記圧力室の中央部と対向する領域を取り囲むように形成された第1環状溝により前記導電層が部分的に除去されて、前記第1環状溝の内側にその外側の前記導電層と絶縁された前記第1電極が形成され、
さらに、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面において、前記圧力室の周縁部と対向する領域であって前記第1環状溝よりも外側の領域に、前記導電層を貫通して少なくとも前記圧電層の厚み方向途中部まで入り込んだ凹部が、前記圧力室の周縁に沿って形成されていることを特徴とする液体移送装置。
IPC (3件):
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
FI (2件):
B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
Fターム (19件):
2C057AF40
, 2C057AF66
, 2C057AF93
, 2C057AG15
, 2C057AG44
, 2C057AG93
, 2C057AN01
, 2C057AP02
, 2C057AP23
, 2C057AP24
, 2C057AP25
, 2C057AP26
, 2C057AP31
, 2C057AP52
, 2C057AP53
, 2C057AP54
, 2C057AP57
, 2C057BA04
, 2C057BA14
引用特許:
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