特許
J-GLOBAL ID:200903002895472750
製造プロセスの状態量推定方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石田 敬 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-001860
公開番号(公開出願番号):特開平11-202903
出願日: 1998年01月07日
公開日(公表日): 1999年07月30日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 少なくとも1つの中間工程を有する製造プロセスにおいて、最終工程の状態量の目標値から最先工程の状態量を精度よく推定することのできる状態量推定システムを提供する。【解決手段】 製造プロセスを構成する各工程毎の数式とニューラルネットワークとを組み合わせたモデルを製品の製造順序とは逆向きに直列接続することによって製造プロセスのモデルを構成する。所定の品質を得るために要求される状態量目標値に基づいて順次状態量の推定を繰り返すことにより、最先工程の状態量を精度よく推定することができる。なお、数式の併用によりニューラルネットワークの入力状態量の数は抑制され、確実な学習が可能となり、推定精度は一層向上する。
請求項(抜粋):
最先工程と、最終工程と、該最先工程と該最終工程との間に配置される少なくとも1つの中間工程と、からなる製品の製造プロセスの最終工程の入力状態量に基づいて最先工程の出力状態量を推定する製造プロセスの状態量推定方法であって、前記各工程における処理後の状態量である出力状態量のうちの測定可能な出力状態量である測定出力状態量を測定する出力状態量測定段階と、前記出力状態量測定段階で測定された測定出力状態量と前記各工程の後流工程における処理前の状態量である入力状態量に基づいて決定された前記測定出力状態量以外の出力状態量とを入力とし、その工程のニューラルネットワークモデルに基づいて、その工程の入力状態量を推定する入力状態量推定段階と、を、各工程について製造工程を最終工程から最先工程に向かって繰り返し、前記最先工程の前記測定出力状態量以外の出力状態量を後流工程の入力状態量に基づいて推定することを特徴とする製造プロセスの状態量推定方法。
IPC (7件):
G05B 13/02
, B22D 11/16
, B22D 46/00
, C21C 5/30
, C21C 7/00
, G05B 13/04
, G06F 15/18 560
FI (7件):
G05B 13/02 L
, B22D 11/16 Z
, B22D 46/00
, C21C 5/30 Z
, C21C 7/00 R
, G05B 13/04
, G06F 15/18 560 Z
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