特許
J-GLOBAL ID：200903002899748415
位置決め装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
森 哲也
, 内藤 嘉昭
, 崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-313823
公開番号（公開出願番号）：特開2007-054953
出願日： 2006年11月21日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：
【課題】高精度の位置決めと小型化が可能な位置決め装置を提供する。【解決手段】テーブル2の下面に固定されてテーブル2を基台1に対して浮上支持する軸受3と、テーブル2のX方向に延在する一方の側面2a側に配置されてテーブル2をX方向に移動可能に案内する第1の直線案内軸受5と、該軸受5をY方向に進退駆動させる第1のアクチュエータ6と、反対側の側面2b側に配置されてテーブル2のX方向への移動を許容すると共に、テーブル2を前記軸受5側に付勢する第1の付勢手段10と、テーブル2のY方向に延在する一方の側面2c側に配置されてテーブル2をY方向に移動可能に案内する第2の直線案内軸受7と、該軸受7をX方向に進退駆動させる第2のアクチュエータ8と、反対側の側面2d側に配置されてテーブル2のY方向への移動を許容すると共に、テーブル2を前記軸受7側に付勢する第2の付勢手段20とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
テーブルを基台に対してX方向に進退させると共に該X方向と同一平面上で直交するY方向に進退させて、該テーブルを任意の位置に位置決めする位置決め装置において、前記テーブルと前記基台との間に配置され、該テーブルを基台に対して浮上支持するテーブル支持軸受と、前記テーブルのX方向に延在する一方の側部側に配置されて該テーブルをX方向に移動可能に案内する第1の直線案内軸受と、該第1の直線案内軸受をY方向に進退駆動させる第1のアクチュエータと、前記テーブルのX方向に延在する他方の側部側に配置されて該テーブルのX方向への移動を許容すると共に、該テーブルを前記第1の直線案内軸受側に付勢する第1の付勢手段と、前記テーブルのY方向に延在する一方の側部側に配置されて該テーブルをY方向に移動可能に案内する第2の直線案内軸受と、該第2の直線案内軸受をX方向に進退駆動させる第2のアクチュエータと、前記テーブルのY方向に延在する他方の側部側に配置されて該テーブルのY方向への移動を許容すると共に、該テーブルを前記第2の直線案内軸受側に付勢する第2の付勢手段とを備えたことを特徴とする位置決め装置。
IPC (4件)：
B23Q 1/62
, F16C 32/06
, F16C 29/00
, B23Q 1/38
B23Q1/62 C
, F16C32/06 A
, F16C29/00
, B23Q1/38 Z
3C048BC02
, 3C048CC07
, 3C048DD06
, 3C048EE07
, 3J102AA02
, 3J102BA05
, 3J102BA11
, 3J102BA14
, 3J102CA11
, 3J102CA19
, 3J102EA02
, 3J102EA07
, 3J102EA18
, 3J104AA52
, 3J104AA79
, 3J104DA13
, 3J104DA16
, 3J104EA07
