特許
J-GLOBAL ID：200903002906797125
真空排気装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-130117
公開番号（公開出願番号）：特開平7-328410
出願日： 1994年06月13日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：
【要約】【構成】真空排気装置3の真空配管2に、特殊バルブ7,圧力センサ6,制御装置8を設け、特殊バルブ7の弁体12にオリフィス13を設けるか、あるいは弁体12を止めるストッパ14を設ける。【効果】必要以上に堅牢な構造設計をする必要がなくなる。大気圧状態から急激に排気した場合に、真空容器内の異物の舞い上がりを少なくする。
請求項（抜粋）：
排気口圧力が大気圧、または大気圧近傍で作動する真空ポンプと、前記真空ポンプの上流側に位置する真空容器と、前記真空ポンプと前記真空容器を接続する真空配管からなる真空排気系において、前記真空配管に取り付けたバルブと、前記バルブの上流側に取り付けた圧力センサと、前記圧力センサからの出力によってバルブを開閉する信号を出力する制御器から成ることを特徴とする真空排気装置。
IPC (2件)：
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