特許

J-GLOBAL ID：200903002909593334

スタンパー複製用盤の製造方法および光学記録媒体の製造方法

発明者： 増原 慎
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-059045
公開番号（公開出願番号）：特開2000-256889
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：

【要約】【課題】 一枚の原盤あるいは基板上に、異なる深さの2以上の種類の微細凹凸を簡便な方法で、最適な深さに高精度に形成する。【解決手段】 原盤10上の第1の領域21に深さd1 の微細凹凸パターン10aを形成し、第2の領域22には、d1 と異なる深さの、深さd2 の微細凹凸パターン12aを形成する。

請求項（抜粋）：

原盤上の第1の領域に、深さd1 の微細凹凸パターンを形成する工程と、上記原盤上に、フォトレジスト層を塗布形成する工程と、上記原盤上の少なくとも第2の領域に、深さd2 の微細凹凸パターンを形成する工程とを有することを特徴とするスタンパー複製用盤の製造方法。

IPC (2件)：

C25D 1/00 321 ,  G11B 7/26 511

FI (2件)：

C25D 1/00 321 ,  G11B 7/26 511

Fターム (8件)：

5D121AA02 ,  5D121AA09 ,  5D121BB06 ,  5D121BB07 ,  5D121BB08 ,  5D121BB22 ,  5D121CB07 ,  5D121DD07