特許
J-GLOBAL ID：200903002914995602
超狭帯域化フッ素レーザ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-169758
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357836
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：
【要約】【課題】1ラインのみで発振し、またそのラインの波長幅を約0.2pm程度に狭帯域化することができ、さらにレーザ出力の低下を抑制した超狭帯域化フッ素レーザ装置を提供する。【解決手段】エタロン16では、波長λ1=157.6299nmの強い発振線L1の中心に、最大透過波長λaが合わせられる。このとき、エタロン16においては、波長λ2=157,523.3pmの弱い発振線L2の中心波長は、2つの隣り合う最大透過波長λb、λcのほぼ中間になる。従って、弱い発振線L2に対してエタロン16は大きな損失となり、フッ素レーザ光は、波長幅が約0.2pmで強い発振線L1の成分が90%以上になる。
請求項（抜粋）：
フッ素レーザの発振レーザ光を露光装置の光源として供給する超狭帯域化フッ素レーザ装置であって、入射光の波長に応じて周期的に透過率または反射率が変化する共に、前記フッ素レーザの発振レーザ光を狭帯域化する波長選択素子を備え、前記波長選択素子は、前記フッ素レーザにおける波長及び光強度が異なる2つの発振線のうちの光強度が強い第1の発振線の中心波長が、自己の素子における1つの選択波長に位置するとき、当該第1の発振線よりも光強度が弱い第2の発振線の中心波長が、自己の素子における隣接する2つの選択波長の間に位置すべく、周期的に透過率または反射率が変化する光学素子で形成されていることを特徴とする超狭帯域化フッ素レーザ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/137
, H01S 3/223 Z
5F071AA07
, 5F071EE01
, 5F071FF09
, 5F071JJ04
, 5F071JJ10
, 5F072AA07
, 5F072JJ04
, 5F072JJ13
, 5F072KK01
, 5F072KK03
, 5F072KK04
, 5F072KK08
, 5F072KK15
, 5F072RR05
, 5F072YY09
