新規なアクリル酸エステル誘導体、およびその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-041011
公開番号（公開出願番号）：特開2009-196944
出願日： 2008年02月22日
公開日（公表日）： 2009年09月03日
要約：

【課題】現像時の膨潤が小さいフォトレジスト組成物を構成する高分子化合物および、その材料として有用である新規なアクリル酸エステル誘導体の提供。【解決手段】下記一般式(1)(式中、R1およびR2は直鎖状、分岐状、または環状のアルキル基を表すか、または、R1とR2が一緒になって、直鎖状、分岐状または環状のアルキレン基を表す。R3およびR4はそれぞれ水素原子、ヒドロキシル基、アルコキシ基、または直鎖状、分岐状、または環状のアルキル基を表すか、または、R3とR4が、一緒になって、直鎖状、分岐状または環状のアルキレン基、酸素原子、または硫黄原子を表す。R5は水素原子、メチル基、またはトリフルオロメチル基を表す。Wは直鎖状、分岐状、または環状のアルキレン基を表す。nは0または1を表す。)で示されるアクリル酸エステル誘導体。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)

IPC (3件)：

C07D 333/48 , C08F 220/38 , H01L 21/027

FI (3件)：

C07D333/48 , C08F220/38 , H01L21/30 502R

Fターム (14件)：

4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100BA03Q , 4J100BA11P , 4J100BA11R , 4J100BC03P , 4J100BC09Q , 4J100BC53R , 4J100BC83P , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100FA19 , 4J100JA38

引用文献：

審査官引用 (1件)

J. Chem. Soc., 1967, Vol.21, p.2176-80

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