真空紫外領域用光学部材および光学部材用コーティング材

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：岡部正夫 (外13名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-288352
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108801
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】潮解性、へき開性が低く、高エネルギー光を照射した場合でも、高い耐久性を有する真空紫外領域用光学部材を提供する。また、複屈折や歪みのない高い結晶の均質性を有すると共に、低い温度で製造可能で生産性に優れ、製造コストを低減できる真空紫外領域用光学部材を提供する。さらに、高い耐久性と薄膜特有の波長特性を実現できる光学部材用コーティング材を提供する。【解決手段】式:KMF3(式中、Mは、Ca、MgまたはSrからそれぞれ独立して選択される。)で表される結晶からなる真空紫外領域用光学部材、および、このフッ化物結晶からなる光学部材用コーティング材。

請求項（抜粋）：

式:KMF3(式中、Mは、Ca、MgまたはSrからそれぞれ独立して選択される。)で表される結晶からなる真空紫外領域用光学部材。

IPC (3件)：

G02B 1/02 , C30B 29/12 , G02B 1/10

FI (3件)：

G02B 1/02 , C30B 29/12 , G02B 1/10 Z

Fターム (7件)：

2K009AA00 , 2K009CC06 , 2K009DD03 , 4G077AA02 , 4G077BA07 , 4G077BE02 , 4G077HA01

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