特許
J-GLOBAL ID：200903002931960430
液晶パネル用スペーサ分布検査機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-138633
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005508
出願日： 1994年06月21日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 液晶パネルの製造過程において、液晶パネルを構成する2つのガラス板の間の間隙を調節する液晶パネル用スペーサの分布を迅速に検査可能な液晶パネル用スペーサ分布検査機を提供する。【構成】 レーザ発光器106から発光されたレーザ光107は、ポリゴンミラー109によってY軸方向に主走査される。一方、ステージ102がX軸方向に移動することによりガラス板100が移動し、副走査が行われる。レーザ光111がガラス板100の面上の液晶パネル用スペーサに照射されると、その反射光は入射光であるレーザ光111が入射してきた方向に向かう。従って、この反射光は入射光の光路を逆にたどっていき、入射光の光路中に設けられたビームスプリッタ114によって外部に取り出され、検出器116によってその液晶パネル用スペーサの密度を表す強度の信号が検出される。
請求項（抜粋）：
液晶パネルを構成する透明パネルの面上に所定の密度で散りばめられた透明な球状の液晶パネル用スペーサの分布を検査する液晶パネル用スペーサ分布検査機において、レーザ発光手段と、前記レーザ発光手段から発光されたレーザ光を、前記液晶パネル用スペーサが散りばめられた前記透明パネルの面上において走査させる走査手段と、前記レーザ光の照射光路中に設けられ、前記液晶パネル用スペーサから反射された反射光を前記照射光路中から取り出すビームスプリッタと、前記ビームスプリッタによって取り出された前記反射光を検出する反射光検出手段と、を含み、前記走査手段は、前記レーザ光を前記透明パネルの面に対し斜めに照射することを特徴とする液晶パネル用スペーサ分布検査機。
IPC (2件)：
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